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石英坩堝使用注意事項
新聞來源：    點擊數(shù)：3209    更新時間：2013/5/10 9:13:46    收藏此頁
石英坩堝使用注意事項：
        1．石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。
　　2、不能和HF接觸，高溫時，極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
　　3．石英坩堝適于用K2S2O7，KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
　　4．石英質(zhì)脆，易破，使用時要注意。
　　5．除HF外，普通稀無機酸可用作清洗液。國內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的18和20英寸坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂主要由美國進口。國內(nèi)產(chǎn)的石英砂純度都達不到其要求。其原料里雜質(zhì)在生產(chǎn)時高溫熔制過程中產(chǎn)生黑點氣泡等 對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。
出處：juxinweiye.cn
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